Современное технологическое оборудование для микроэлектроники
Камлюк В.С.

Год издания: 2022

Количество страниц: 266.

Издательство: РИПО.

Изображение №1
Изображение №1
Изображение №2
Изображение №2
Изображение №3
Изображение №3

О книге

В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему.